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            NSK中國(guó)官網(wǎng)Banner

            精機(jī)產(chǎn)品?技術(shù)報(bào)告:高精度空氣導(dǎo)軌

            空氣導(dǎo)軌采用靜壓空氣軸承進(jìn)行導(dǎo)向,滑動(dòng)面的摩擦極小,沒(méi)有滑移爬行。因此運(yùn)行非常平穩(wěn),能獲得很高的直線度和定位精度,速度不均也很少。同時(shí),產(chǎn)生異物少很適合在清潔環(huán)境的場(chǎng)合使用。
            根據(jù)這些優(yōu)異的特性,各種精密測(cè)量設(shè)備或者是逐漸高密度化高精度化的半導(dǎo)體及情報(bào)設(shè)備的制造裝置,檢查裝置等,在這些地方原來(lái)使用滾動(dòng)導(dǎo)軌很難達(dá)到所需的精度的條件下,使用空氣滑塊的場(chǎng)合很多。NSK針對(duì)這種要求,開(kāi)發(fā)并生產(chǎn)出了空氣導(dǎo)軌。
            NSK標(biāo)準(zhǔn)形狀的空氣導(dǎo)軌按照導(dǎo)軌的支撐方式的不同分為2類(lèi)(如圖1)。A型空氣導(dǎo)軌的導(dǎo)軌兩端的支撐方式采用最簡(jiǎn)單的構(gòu)造,適合輕載時(shí)使用(如圖2)。B型空氣導(dǎo)軌的導(dǎo)軌兩端采用全面支撐,沒(méi)有因載荷而導(dǎo)致的導(dǎo)軌的彎曲變形,適合重載時(shí)使用(如圖3)。NSK空氣導(dǎo)軌的特點(diǎn)如下所示。

            • 1) 軸承采用多孔設(shè)計(jì),剛度高,空氣流量少。
            • 2) 導(dǎo)軌和滑塊工作臺(tái)都使用的陶瓷材質(zhì),質(zhì)量輕導(dǎo)軌彎曲變形少。
            • 3) 附帶驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的空氣導(dǎo)軌單元也在生產(chǎn)銷(xiāo)售。
            圖1:標(biāo)準(zhǔn)型空氣導(dǎo)軌的構(gòu)造和支撐方式&圖2:A型空氣導(dǎo)軌&圖3:B型空氣導(dǎo)軌

            空氣導(dǎo)軌的驅(qū)動(dòng)方式是依靠滾珠絲杠、馬達(dá)、直線馬達(dá)及導(dǎo)線或皮帶來(lái)實(shí)現(xiàn)的。滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)作為一種簡(jiǎn)便的驅(qū)動(dòng)方法,被廣泛使用,但因安裝方法對(duì)運(yùn)行精度有較大的影響,需要在螺母和滑塊工作臺(tái)的組合上下功夫。圖4是A形空氣導(dǎo)軌在沒(méi)有負(fù)載時(shí)的平直度,因采用導(dǎo)線驅(qū)動(dòng),避免了驅(qū)動(dòng)對(duì)精度的影響,能獲得很高的精度。
            為了發(fā)揮空氣導(dǎo)軌的高精度,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或控制方式也要采用與使用條件相匹配的方法,也有必要作為直線導(dǎo)向裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)和制作。

            圖4:空氣導(dǎo)軌平直度測(cè)量例